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P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有較好的測量重復(fù)性。

KLA先進(jìn)的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，帶有電動載物臺。可測量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

產(chǎn)品類型：白光、共軛焦、非接觸 μSurf結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，精確量測物體高度(如下圖所示)。 由于使用了共軛焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比，可以精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

μScan采用模塊化設(shè)計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化，μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器，(Z方向測量)連用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

AF2 自動對焦(Autofocus) 借由探測器的回饋訊號調(diào)整物鏡位置，得到待測物焦點，而獲得待測物的確實高度(如下左圖)。 CF4 共軛焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，此時偵測器能經(jīng)由孔洞得到Z大光的強度，如此偵測器根據(jù)此訊號確定其位置