產(chǎn)品中心
Product Center當前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀光學輪廓儀Zeta-20三維光學輪廓儀
非接觸式優(yōu)點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸,保護了測量裝置,同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差。Zeta-20三維光學輪廓儀集成了六種光學計量技術。 ZDot 測量模式同時采集高分辨率 3D 掃描和真彩色無限對焦圖像。其他測量技術包括白光干涉法、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審查或自動缺陷檢測。
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,航天,汽車,綜合 |
Zeta-20 三維光學輪廓儀的典型應用:
•MEMS(微機電系統(tǒng))
•光伏太陽能電池
•微流體設備
•數(shù)據(jù)存儲磁盤倒邊
•激光打孔
•半導體晶圓級芯片級封裝
多功能光學測試模組
•*ZDot點陣三維成像技術與強大的算法相結合,輕易獲得各種樣品表面信息生成高分辨率 3D 數(shù)據(jù)。
•ZIC 干涉反襯成像技術,實現(xiàn)納米級粗糙度表面的成像及分析。
•ZSI 白光差分干涉技術,垂直方向分辨率可達埃級。
•ZX5 白光干涉技術,大視場下納米級高度的理想測量技術。
•ZFT 反射光譜膜厚分析技術,集成寬頻反射光譜分析儀,可測量 薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
Zeta-20三維光學輪廓儀優(yōu)點:
•多功能——能夠在任何表面上進行多次測量
•特定應用軟件和算法
•對振動和樣品傾斜不敏感
•高光通量設計——實現(xiàn)其他系統(tǒng)無法進行的測量
•易于使用——用戶可以快速啟動和運行
混合反射率表面測量:在太陽能電池表面氮化物涂層上的銀。銀反射率大于90%,氮化物反射率小于1%,兩者反射率差非常大,Zeta-20高動態(tài)范圍可輕松測量混合反射率表面。
在微機電系統(tǒng)上進行亞微米級臺階高度測量:可實現(xiàn)大面積高分辨率測量。
分析防偽透明特征:可在混合、不平整的表面上進行準確的 3D 輪廓分析(圖中是人民幣20元防偽標志)
光刻膠和金屬的臺階測量:ZDot 的多模式*地實現(xiàn)了金屬臺階和薄膜厚度的同時測量。
激光切割:測量 LED 設備上激光切割的深度。在非常低的對比度,高粗糙度的表面測量。 測量空腔邊緣的材料堆積,以確定它是否已流出劃線區(qū)域并流入 LED 器件的有源 區(qū)域。