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Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心納米壓印Imprint Nano納米壓印4英寸納米壓印機(jī)
4英寸納米壓印機(jī)的技術(shù)與工藝特點(diǎn),*性地設(shè)計(jì)和制備工作于低真空環(huán)境下,結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動(dòng)力的,通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,借助于多種靈活的自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計(jì)與運(yùn)用,實(shí)現(xiàn)壓印中的自動(dòng)找平調(diào)控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。
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相關(guān)文章4英寸納米壓印機(jī)主要特點(diǎn):
該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過各項(xiàng)功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實(shí)現(xiàn)納米壓印全過程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與全自動(dòng)化控制。
4英寸納米壓印機(jī)技術(shù)參數(shù):
溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個(gè)PSI(對(duì)于4英寸晶元);
紫外曝光系統(tǒng);
真空范圍從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕;
水冷系統(tǒng);
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏;
手動(dòng)裝載樣品和模板;
自帶機(jī)器控制軟件;
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。