德國(guó)SURFACE超高真空脈沖激光鍍膜系統(tǒng)

        德國(guó)SURFACE公司自1993年起就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)（PLD）的研發(fā)和制造工作，在這期間SURFACE公司不但向市場(chǎng)提供了標(biāo)準(zhǔn)的PLD系統(tǒng)，而且也提供專門(mén)為客戶訂制的PLD系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)了這么多年的發(fā)展，SURFACE公司開(kāi)發(fā)出許多能夠滿足客戶需求的產(chǎn)品和技術(shù)。

1、SURFACE基底運(yùn)載系統(tǒng)

對(duì)機(jī)械來(lái)說(shuō)，熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中，精確的熱電偶是關(guān)鍵的質(zhì)量因素。SURFACE常規(guī)電阻1英寸基底運(yùn)載器、嵌入式Omicron原子力基底夾、熱電偶直接嵌入基底運(yùn)載系統(tǒng)，30mm的基底中間區(qū)域、基底和銀醬一起安裝在激光切邊運(yùn)載器上。運(yùn)載系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換并直接嵌入熱電偶這保證大多數(shù)的溫度測(cè)量。

2、靶切換系統(tǒng)

超高真空技術(shù)需要反應(yīng)釜通過(guò)一個(gè)負(fù)載鎖的腔體進(jìn)行相互作用。從一開(kāi)始，SURFACE就意識(shí)到這一點(diǎn)，并設(shè)計(jì)了一個(gè)靶轉(zhuǎn)盤(pán)來(lái)實(shí)現(xiàn)這一需求。多層蓋板避免了強(qiáng)熱的基底轉(zhuǎn)移到靶材。所有靶材是受保護(hù)，以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換，無(wú)需工具。靶材將通過(guò)磁場(chǎng)操縱或位于*轉(zhuǎn)移腔的內(nèi)部轉(zhuǎn)移操縱手被轉(zhuǎn)移。該耦合和靶材的精確檢索是自動(dòng)完成的。靶轉(zhuǎn)盤(pán)和切換動(dòng)力保證了均質(zhì)燒蝕過(guò)程。

3、模塊化的系統(tǒng)概念

SURFACE公司多年來(lái)一直從事于研發(fā)超高真空材料科學(xué)系統(tǒng)。在大多數(shù)情況下，一個(gè)系統(tǒng)的工作負(fù)載起始于一個(gè)單一的過(guò)程控制，往往過(guò)了一段時(shí)間以后，客戶的需求會(huì)增多。為了通過(guò)附加的過(guò)程控制提升整套設(shè)備的功能，SURFACE公司認(rèn)識(shí)到需要用完整的模塊化概念來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題。從向市場(chǎng)提供單一的腔體加上負(fù)載鎖，一直到提供更多的擴(kuò)展，而不需要冒任何將來(lái)轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。