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晶圓探針式輪廓儀(WaferProber)是一種用于測(cè)試和測(cè)量半導(dǎo)體晶圓上器件輪廓和尺寸的儀器。該儀器通常由機(jī)械平臺(tái)、探針卡盤、探測(cè)控制系統(tǒng)等部分組成。晶圓探針式輪廓儀的工作原理是通過將晶圓置于機(jī)械平臺(tái)上，利用探針卡盤上的探針觸點(diǎn)對(duì)晶圓進(jìn)行探測(cè)和測(cè)量。探針觸點(diǎn)通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)精確地接觸晶圓表面，并測(cè)量其表面的高度和形狀變化。通過控制探針卡盤的移動(dòng)，該儀器可以對(duì)晶圓表面的多個(gè)點(diǎn)進(jìn)行連續(xù)的測(cè)量，從而還原出器件在晶圓上的輪廓和尺寸信息。晶圓探針式輪廓儀的主要應(yīng)用領(lǐng)域是半導(dǎo)體工業(yè)中的研發(fā)...

臺(tái)式納米壓痕儀是一種先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)儀器，用于測(cè)量材料的力學(xué)性能，特別是材料的硬度和彈性模量。它具有以下幾個(gè)特點(diǎn)：1.精準(zhǔn)測(cè)量：臺(tái)式納米壓痕儀采用高精度的傳感器和控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料力學(xué)性能的精確測(cè)量。它能夠測(cè)量材料的硬度、壓痕深度和壓痕尺寸等參數(shù)，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)分析。2.高效操作：臺(tái)式納米壓痕儀操作簡單，用戶可以通過觸摸屏或計(jì)算機(jī)界面進(jìn)行參數(shù)設(shè)置和實(shí)驗(yàn)控制。儀器配備了自動(dòng)探針識(shí)別和調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以快速準(zhǔn)確地選擇合適的探針和設(shè)置合適的實(shí)驗(yàn)條件，提高工作效率。3.多功能性：除了常規(guī)...

臺(tái)式納米壓痕儀是一種先進(jìn)的材料表面力學(xué)性能測(cè)試儀器。它采用納米級(jí)壓痕技術(shù)，能夠在微小的尺度上對(duì)材料的硬度、彈性模量和塑性變形進(jìn)行精確測(cè)量。這種儀器在材料科學(xué)、納米技術(shù)和工程領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。該儀器由壓頭、壓頭支架、移動(dòng)平臺(tái)和傳感器組成。壓頭是用于加載樣品的部件，其帶有一顆微小的硬度鉆石，可以在納米級(jí)尺度下進(jìn)行壓痕測(cè)試。壓頭支架用于支撐和固定壓頭，保證測(cè)試的穩(wěn)定和準(zhǔn)確性。移動(dòng)平臺(tái)是控制壓頭的升降和水平移動(dòng)的部件，通過精確的運(yùn)動(dòng)控制，能夠?qū)悠愤M(jìn)行準(zhǔn)確的定位和測(cè)試。傳感器則...

離子束沉積系統(tǒng)(IonBeamDepositionSystem)是利用離子束轟擊固體表面，通過化學(xué)反應(yīng)或物理作用使材料原子聚積在基片表面形成薄膜的一種薄膜制備技術(shù)。以下是離子束沉積系統(tǒng)的使用方法：1.準(zhǔn)備工作首先需要準(zhǔn)備好需要沉積的基片和目標(biāo)材料。將基片清洗干凈，并去除表面的污垢和雜質(zhì)。目標(biāo)材料則需要切割成合適大小并進(jìn)行打磨處理。2.裝載基片和目標(biāo)材料將準(zhǔn)備好的基片放入樣品架中，并通過真空泵將其置于所需的低壓環(huán)境中。然后將目標(biāo)材料放置于離子源旁邊的樣品架上。3.啟動(dòng)系統(tǒng)啟動(dòng)系...

離子束沉積(IonBeamDeposition，IBD)是一種常用的薄膜制備技術(shù)，它利用離子束轟擊靶材表面，從而使其原子或分子在表面沉積成薄膜。離子束沉積具有高度可控性、良好的均勻性和較低的表面粗糙度等優(yōu)點(diǎn)，因此在微電子學(xué)、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。離子束沉積的基本原理是利用離子束能量將靶材表面的原子或分子打碎，并沉積在基底上形成薄膜。離子束沉積有兩種方式，即單源離子束沉積和多源離子束沉積。單源離子束沉積是指利用單個(gè)離子源產(chǎn)生離子束，直接轟擊靶材表面進(jìn)行沉積;而多源離...

三維光學(xué)輪廓儀對(duì)各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析的精密儀器。下面讓我們一起來了解一下三維光學(xué)輪廓儀的主要功能吧：1、共聚焦共聚焦技術(shù)可以用來測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。共聚焦算法保證Z...

光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。三維光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、三維尺寸、三維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的，是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表...

高精度輪廓儀能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量儀器，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算...